Atomare Teilchen mit ausreichender Bewegungsenergie und Röntgenstrahlung können direkt über die Absorption am Kristallgitter oder indirekt über Szintilatoren mit Strahlungsempfängern aus Silizium nachgewiesen werden. Dazu sind teilweise sehr große Absorptionsvolumen und extrem kleine Dunkelsignale bei teils völlig verarmten Wafern erforderlich. Die Silicon Sensor International AG bietet für die energieaufgelöste Spektroskopie Lösungen an.
